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薄膜的物理氣相沉積(二)-濺射法

薄膜的物理氣相沉積(二)-濺射法

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級別:| 積分:100 分 | 瀏覽:81270 | 大。1.51MB | 下載:4494 次 | 上傳:2013-09-05

簡介:

利用帶電離子在電磁場的作用下獲得足夠的能量,轟擊固體(靶)物質(zhì),從靶材表面被濺射出來的原子以一定的動能射向襯底,在襯底上形成薄膜。

[展開]
         
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